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Sistema de grupos de múltiples funciones para la síntesis de plasma ionizado reactiva de composición compuestos PP136 – Global Innovations | all.biz
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Sistema de grupos de múltiples funciones para la síntesis de plasma ionizado reactiva de composición compuestos PP136

Sistema de grupos de múltiples funciones para la síntesis de plasma ionizado reactiva de composición compuestos PP136

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Descripción

Objeto y áreas de uso


La unidad funcional de clúster está destinado a la síntesis y la investigación de los atributos de los elementos de lámina y nanoestructurados funcionales nanoestructurados. En la unidad, las tecnologías de síntesis de solo - y multi - revestimientos de capa de óxidos y oxinitruros de metales de transición de TiN, TiAlN, TiO, Al2O3, Ta2O5, TiN / Al2O3, TiN / TiO y otros fueron elaborados. láminas y recubrimientos nanoestructurados están destinados a las necesidades de la ingeniería mecánica, fabricación de instrumentos, la energía nuclear y la biomedicina.

 

Síntesis del desarrollo


unidad Cluster de la síntesis de reactivo de plasma ionizado de compuestos de composición, de refuerzo y la corrosión - revestimientos resistentes contiene dos bajo - magnetrones de presión con un diámetro objetivo de 170 mm. Una fuente de iones con energía de 2 - 5 keV de tipo "Radikal - M" con un diámetro de un rayo de 100 mm, que está montado en las bridas de la cámara de trabajo. Un alto - fuente de frecuencia de inducción de las partículas químicamente activas y plasma con energías de iones de 30 - 50 eV y una densidad de corriente de hasta 5 mA / cm2.

 

Principales ventajas del desarrollo


Por diseño, la instalación es original, en comparación con los análogos conocidos. Es más compacto y capaz de formar láminas funcionales de tamaño nanométrico y elementos nanoestructurados con alta resolución. El desarrollo de baja - energía, reconfigurado de forma operativa, en comparación con los análogos conocidos, su valor se estima en 2 veces menor.

 

 

Demanda de mercado


La demanda del mercado es alta. ingeniería mecánica, fabricación de instrumentos y la industria electrónica - como equipamiento tecnológico. Las instituciones de investigación - como equipo experimental.

 

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